解决方案案例 [case-017] 用于扇出型晶圆和硅片的洁净烘箱系统
- 聚酰亚胺固化
- SO2-12-F
支持通过同一洁净烘箱系统处理扇出型晶圆和硅片
| 支持工艺 | 聚酰亚胺固化 |
|---|---|
| 型号介绍 | SO2-12-F |
问题
由于扇出型晶圆在 FOWLP 的制造过程中会弯曲，扇出型晶圆传输机器人的晶舟和梳齿与硅片的不同。因此，扇出型晶圆的输送系统和烘箱系统不能用于硅片，反之亦然。
解决方案
- 使扇出型晶舟和硅晶舟能够放置在同一个腔室中
- 根据加工的晶圆交换梳齿，使两种晶舟都能用一个机器人传输
- 添加传感器以检测传输的是哪种晶舟
结果
- 扇出型晶圆和硅片都可以用一个洁净烘箱系统进行加工处理。
