MLCC/LTCC 制造设备
什么是 MLCC？
MLCC 是多层陶瓷电容器的缩写。凭借多层（层压）陶瓷电介质和金属电极，这些片式电容器具有小尺寸和大容量。紧凑、耐热的设计使 MLCC 非常适用于高频电路，常用于计算机、通信设备、视频设备、汽车和大多数其他数字设备。
近年来，电子产品在汽车产业中占据越来越重要的地位，智能手机变得愈加精密复杂，而物联网也越来越受欢迎。这促进了 MLCC 需求的快速增长，MLCC 已被证明是用途广泛的电子产品。
什么是 LTCC？
LTCC 是低温共烧陶瓷的缩写。这些陶瓷是在低温下烧制的，因此可以使用低电阻金属作为导体，减少电阻损耗。这使得它们适合高频应用。由于布线图案可以在表层和内层上形成，因此很容易进行层压和压平。此外，由于收缩变化小，因此可以实现高精度和高密度安装。这些陶瓷预计将应用于电路板和半导体封装等众多领域。
JTEKT Thermo Systems MLCC 和 LTCC 生产热处理设备
作为一家 MLCC/LTCC 生产热处理设备制造商，JTEKT Thermo Systems 拥有丰富的技术经验，致力于利用先进技术和高可靠性制造解决各种客户问题。
该公司是一家综合型热处理设备制造商，提供各种设备，本页介绍一些具有代表性的 JTEKT Thermo Systems 产品。
处理应用
用于 MLCC/LTCC 生产的 JTEKT Thermo Systems 热处理设备通常用于脱脂和烧制、再氧化和电极烧制，但该设备也可以设计为满足各种特定客户要求，包括中间处理应用。
特性和优势
MLCC 和 LTCC 根据制造商不同的个体经验制造，在制造时没有指定的“标准”。
除了简单的惰性气体烘箱和网带式连续炉的热处理设备平台外，JTEKT Thermo Systems 还定期提供独一无二的客户专用设备。
JTEKT Thermo Systems 凭借多年经验开发的先进气氛控制和加热控制技术支持高质量 MLCC 和 LTCC 制造。
产品
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网带式连续炉
连续网带输送热处理炉
应用：
MLCC 脱脂（粘合剂烧除）、电极烘烤、LTCC 烧制 -
陶瓷网带式连续炉
这些产品在输送机中使用具有优异耐热性和耐磨性的陶瓷链。
应用：
MLCC 烧制、再氧化 -
惰性气体烘箱
用于在氧气 (O2) 浓度不超过 20 ppm 的氮气 (N2) 气氛中进行热处理的热风循环烘箱
应用：
脱脂（粘合剂烧除） -
系列具有过热蒸汽气氛的制造设备，可满足各种需求
应用：
脱脂（粘合剂烧除） -
真空箱式炉
凭借快速抽空性能，可以在短时间内将气体变成氮气 (N2) 气氛。
应用：
MLCC 二次脱脂
LTCC 烧制 -
废气燃烧处理设备
使用电加热器实现直接燃烧法的废气燃烧处理设备
应用：
废气燃烧分解
网带式连续炉
由于采用了网带结构和金属马弗炉，这些连续炉可提供出色的炉内的温度均匀性、气氛稳定性和再现性。
采用具有 JTEKT Thermo Systems 隔热技术和先进温度变化特点的加热器（JTEKT自制 Moldatherm heater），可确保高精度温度控制以及出色的节能效果。非常适合 MLCC 脱脂、电极烧成和 LTCC 烧制应用。
此外还提供一系列可选装置，用于处理脱脂过程中产生的有机废气，确保可选择各种处理设备，满足不同应用的需求。
多进/排气式
这些型号采用马弗结构，具有多个进排气口，可根据正在处理的工作，进行细微的气氛调整。
产品可根据客户要求进行设计，例如需要高效脱脂的 MLCC 铜电极烘烤，或者每一步都需要气氛调整的加工流程。
加工应用示例
应用
滚动 →
| 工业领域 | 热处理目的 | 热处理产品 |
|---|---|---|
| 电子元件 |
・干燥 ・固化 ・脱脂（粘合剂烧除） ・电极烘烤 ・再氧化 ・煅烧 ・烧制 ・退火 ・烧结 ・焊接 ・银钎焊 |
・反应器 ・MLCC（多层陶瓷电容器） ・多层电感器 ・LTCC（低温共烧陶瓷） ・密封接线柱 ・铁氧体磁芯 ・压电元件 ・陶瓷封装 ・再氧化 |
| 其他 |
・干燥 ・固化 ・脱脂 ・退火 ・电极烘烤 ・外敷层 |
・光伏 ・粘结磁体 ・烧结磁体 ・金属材料 |
规格
| 工作温度 | 150 至 1000℃ |
|---|---|
| 加热室 | 耐热钢制马弗 |
| 传送带宽度 | 150 至 800 mm |
| 适用气体 | N2、N2（湿式）、N2 + 空气、空气 |
| 选配 | 皮带清扫器、可拆卸进/排气装置、废气处理装置、工件输送带 *还有其他各种选配。单击此处联系 JTEKT Thermo Systems。 |
有机废气处理装置
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加热器式废气处理装置
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催化废气燃烧处理装置
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水冷式冷阱
陶瓷网带式连续炉
这些产品在输送机中使用具有优异耐热性和耐磨性的陶瓷链。设计紧凑，具有优异的节能性能。非常适合 MLCC 再氧化工艺应用。
与其他高温炉（如辊道运输和推送运输）相比，链式运输更稳定，与烧制夹具相关的运输故障更少。
该系列产品包括氧化铝链（最高 1200°C）和高温规格莫来石链（最高 1400°C）。
规格
| 工作温度 | 150 至 1400°C（陶瓷马弗） 150 至 600°C（耐热钢制马弗） |
|---|---|
| 加热室 | 耐热钢制马弗或陶瓷马弗 |
| 均匀温度宽度 | 最小 200 mm（如需其他宽度，请联系我们。） |
| 适用气体 | 空气、N2（湿式/干式） |
| 应用 | MLCC 烧制和再氧化、玻璃上釉、铁氧体烧结、热敏电阻烧制、陶瓷传感器烧制 |
惰性气体烘箱
- 最高工作温度
- 600℃
这些高性能惰性气体烘箱能够在氧气浓度低至 20 ppm 的气氛中，在高达 600°C 的温度下进行热处理。这使其非常适合 MLCC 和 LTCC 脱脂应用。
这些惰性气体烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有良好的气密性和温度均匀性，同时确保更好的稳定性和再现性。
此外，通过采用由冷却鼓风机驱动的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。
此外还提供一系列可选产品，包括有机废气处理装置，以及脱脂专用设备所需的更高安全规格，以确保安全可靠的 MLCC 和 LTCC 生产。
应用
滚动 →
| 工业领域 | 热处理目的 | 热处理产品 |
|---|---|---|
| 电子元件 |
・脱脂（粘合剂烧除） ・退火 ・固化 |
・陶瓷材料/片材 ・MLCC（多层陶瓷电容器） ・LTCC（低温共烧陶瓷） ・陶瓷 O2 传感器 ・铁氧体磁芯 ・FPC（柔性印刷电路） ・共模噪声滤波器 ・热敏电阻 |
| 其他 |
・脱脂 ・固化 ・退火 ・烧制 ・干燥 |
・碳化硅陶瓷 ・静电卡盘 ・氮化铝 ・光学透镜 ・柔性基板 ・充电电池电极材料 ・线束（铜线） ・催化剂 ・锻造产品 |
规格
| 工作温度 | RT + 60 至 600°C |
|---|---|
| 适用气体 | N2、空气 |
| 冷却机构 | 带外部水箱的强制冷却机构 |
| 选配 | 氧气分析仪、废气处理装置、更高安全规格、工件装载升降机 *还有其他各种选配。单击此处联系 JTEKT Thermo Systems。 |
定制示例
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带升降机的定制型号
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可选脱脂规格
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加热器式废气燃烧处理设备
安全说明
在产品加工过程中产生粘合剂和有机成分的情况下，需根据微商热重曲线和生成成分的其他特点，考虑加热速率、引入气体量和其他因素进行处理，以确保安全性。
废气燃烧处理设备
该设备采用高温直接燃烧法来精确净化处理产品产生的有机蒸汽。非常适合用于进行脱脂的热处理设备的废气处理。
在陶瓷的临时烧结过程和电子元件的脱脂过程中，处理的物体会产生含有有机化合物的蒸汽。这种在炉内气氛中扩散的气体作为废气从热处理设备中排出。但是，该气体具有强烈的刺激性气味且易燃，可能会导致恶劣的工作环境，并带来火灾和爆炸风险。
JTEKT Thermo Systems 发布了废气燃烧处理设备，该设备能够精确净化从热处理设备排放的废气，从而改善工作环境并提高安全性。
该设备向废气中添加新鲜空气，并在加热至燃点温度或以上（最高 850°C）的马弗炉内准确执行有机物的直接燃烧分解。热源采用电阻加热器（JTEKT Thermo Systems 制造的 Moldatherm 加热器），因此无需安装燃气装置以及用明火燃烧目标物的气体燃烧法所需的其他此类设备。这降低了设备安装时的成本。高度可靠的加热器（JTEKT自制 Moldatherm heater）可通过其出色的节能性能和温度控制实现稳定的废气处理。
我们建议该设备与惰性气体烘箱、脱脂炉或网带式连续炉配套使用。将该设备与 JTEKT Thermo Systems 热处理设备相结合，可实现联动操作和联锁，确保更高效、更安全的操作。
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内部结构
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使用示例（与热处理设备相连）
系列
为了提供满足所有客户需求的热处理技术，JTEKT Thermo System 开发出利用过热蒸汽气氛的制造设备系列。
这些热处理设备可分为间歇式或连续式。JTEKT Thermo System 还提供一系列用于实验性研发、小批量生产和大批量生产的产品。
过热蒸汽
过热蒸汽是无色透明的高温蒸汽气体 (H2O)，通过在常压下将 100°C 蒸发的饱和蒸汽加热至更高的温度产生。
主要特性
- 比热高于加热空气，辐射效果较好，可以在更短的时间内均匀加热
- 低氧处理能力
- 通过加快加工产品的水解反应，提高生产力并降低运行成本
处理应用
- 电子元件的脱脂和烘烤
- 陶瓷零件的脱脂（粘合剂烧除）
- 金属零件的干燥和脱脂
- 树脂去除
- 无法通过常规方法提高加热效率的产品的热处理
*有效性因所处理的材料而异。我们建议首先使用试制装置进行测试，以验证其有效性。
示例应用结果
- 电子元件脱脂所需的加热时间减半
- 更低的处理温度
间歇式
AllFit 对应过热水蒸气的惰性气体烘箱
规格
| 型号 | AF-INH21 | AF-INH100 |
|---|---|---|
| 工作温度 | RT + 60 至 500°C | |
| 适用气体 | 过热蒸汽、氮气、空气 | |
| 残留氧浓度 (参考值) | 20 ppm 或更低（当马弗炉充满过热蒸汽时） 注意：可能因供水中溶解氧的量而异。 |
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*包括其他安全特性（安全门和加固门）
间歇式高温
AllFit 对应过热水蒸气的真空箱式炉
规格
| 型号 | AF-µBF |
|---|---|
| 工作温度 (*1) | 400 至 900°C |
| 适用气体 | 过热蒸汽、氮气、空气、氢气 |
| 残留氧浓度 (参考值) | 20 ppm 或更低（当马弗炉充满过热蒸汽时） 注意：可能因供水中溶解氧的量而异。 |
*1 该值表示马弗炉和加热器之间的空间温度。
连续式
AllFit 对应过热水蒸气的小型网带炉
规格
| 型号 | AF-810A |
|---|---|
| 工作温度 | 250 至 900°C |
| 适用气体 | 过热蒸汽、氮气、空气 |
| 传送带宽度 | 200 mm |
| 炉内通过高度 | 30 mm |
| 残留氧浓度 (参考值) | 20 ppm 或更低（当马弗炉充满过热蒸汽时） 注意：可能因供水中溶解氧的量而异。 |
连续式
AllFit 对应过热水蒸气的网带炉
规格
| 型号 | AF-47MT |
|---|---|
| 工作温度 | 400 至 1000°C |
| 适用气体 | 过热蒸汽、氮气、空气 |
| 传送带宽度 | 根据工艺条件进行安排，包括热量分布、产量和其他相关因素。 |
| 炉内通过高度 | 根据工艺条件进行安排，包括热量分布、产量和其他相关因素。 |
| 残留氧浓度 (参考值) | 20 ppm 或更低（当马弗炉充满过热蒸汽时） 注意：可能因供水中溶解氧的量而异。 |
真空箱式炉
凭借快速抽空性能，可以在短时间内将气体变成氮气 (N2) 气氛。
该产品内部容量大、效率高，非常适用于生产。这是多用途热处理炉，适用于 LTCC 基板和 MLCC 生产。
JTEKT Thermo Systems 提供一系列实验用大气炉，能够进行 400°C 至最高温度 1800°C 的热处理。基于我们通过制造这些炉开发的技术以及真空和大气控制技术，我们进一步改进了大容量箱式炉，能够在各种气氛中进行热处理。这些热处理炉可用于批量生产。
此外还提供一系列可选装置，用于处理脱脂过程中产生的有机废气，并可用于 MLCC 脱脂和 LTCC 烧制。
产品试制和测试区域
综合型热处理设备制造商，超越领域和地域的边界，解决不同领域的热处理问题
从研发设备到生产设施，通过集结主要业务领域的技术人员，促进新产品和技术开发，并安装用于实验和评估的试制设备，JTEKT Thermo Systems 不仅开发自己的工艺，还提供可用于客户预先测试和性能评估的系统。
用于电子元件制造的连续炉区域
紧凑型电炉和烘箱区域
