这款配有自动输送机的低成本立式炉管可用于从研发到批量生产 4 至 8 英寸晶圆的一系列功能。
提供超高温处理，非常适合功率器件制造。
这款用于实验和研发的小规模生产立式炉管实现了高质量的处理。
该立式炉管很紧凑，只需要很小的安装面积，但可用于各种直径的晶圆，具有与量产炉相同的温度特性。
除了应用于FO-WLP 和 WL-CSP 的 PIQ处理方面具有丰厚实际经验的 Φ300 mm 晶圆外，也可用于先进封装的各种方形基板（最大 600x600 mm）的批量生产型洁净烘箱。也可处理如聚酰亚胺固化等低温处理。
通过耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可在清洁环境中进行高温烘烤。热风循环系统用于进行高精度的晶圆和玻璃基板烘烤/老化、聚酰亚胺固化和退火。
可进行高温处理的立式炉管，非常适合功率器件制造。具有自动晶圆传输机制，可用于量产。
用于生产先进半导体封装、液晶显示器、有机发光二极管（OLED）和聚酰亚胺薄膜的 RDL（接线层）和玻璃中间膜的大直径立式炉。
可进行超高温处理的立式炉管，非常适合功率器件制造。支持 3 至 8 英寸晶圆，并具有自动晶圆传输机制。
可进行高温处理的立式炉管，非常适合功率器件制造。具有自动晶圆传输机制，可用于从研发到量产等各种应用。
